GB 51136-2015 薄膜晶体管液晶显示器工厂设计规范

14.2 管线布置

14.1 一般规定

14 空间管理

13.4 化学品废液收集回收

13.2 化学品储存和配送

13.1 一般规定

13 化 学 品

12.3 防静电接地

12.2 防静电措施

12.1 一般规定

12 防 静 电

11.2 防雷与接地

11.1 供配电与照明

11 电 气

10.6 消防给水及灭火设施

10.5 废 水

10.4 工艺冷却循环水

10.3 纯 水

10.2 一般给水排水

10.1 一般规定

10 给水排水

9.4 防 排 烟

9.3 空气调节与净化

9.2 采暖、通风与废气处理

9.1 一般规定

9 供暖、通风、空气调节与净化

8.5 工艺真空和清扫真空

8.4 压缩空气供应

8.3 特种气体供应

8.2 大宗气体供应

8.1 冷、热 源

8 气体动力

7.5 基座平台设计

7.4 微振动控制设计及测试

7.2 厂房结构设计

7.1 一般规定

7 结 构

6.2 防火及安全疏散

6.1 一般规定

6 建 筑

5.2 总体规划

5.1 厂址选择

5 厂址选择及总体规划

4.4 设备配置

4.3 工艺区划

4.2 基本工序

4.1 一般规定

4 工 艺

3 基本规定

2 术 语

1 总 则

制订说明

条文说明

引用标准名录

本规范用词说明

附录B 微振动标准VC曲线

附录A 薄膜晶体管液晶显示器生产工艺流程

14.3 共用管道支、吊架

14.2 管线布置

14.1 一般规定

14 空间管理

13.4 化学品废液收集回收

13.3 管材、阀门

13.2 化学品储存和配送

13.1 一般规定

13 化 学 品

12.3 防静电接地

12.2 防静电措施

12.1 一般规定

12 防 静 电

11.4 通信及自控

11.3 火灾报警及消防联动

11.2 防雷与接地

11.1 供配电与照明

11 电 气

10.6 消防给水及灭火设施

10.5 废 水

10.4 工艺冷却循环水

10.3 纯 水

10.2 一般给水排水

10.1 一般规定

10 给水排水

9.4 防 排 烟

9.3 空气调节与净化

9.2 采暖、通风与废气处理

9.1 一般规定

9 供暖、通风、空气调节与净化

8.5 工艺真空和清扫真空

8.4 压缩空气供应

8.3 特种气体供应

8.2 大宗气体供应

8.1 冷、热 源

8 气体动力

7.5 基座平台设计

7.4 微振动控制设计及测试

7.3 微振动控制标准

7.2 厂房结构设计

7.1 一般规定

7 结 构

6.2 防火及安全疏散

6.1 一般规定

6 建 筑

5.2 总体规划

5.1 厂址选择

5 厂址选择及总体规划

4.4 设备配置

4.3 工艺区划

4.2 基本工序

4.1 一般规定

4 工 艺

3 基本规定

2 术 语

1 总 则

前 言

中华人民共和国住房和城乡建设部公告

版权信息

封面

封面

版权信息

中华人民共和国住房和城乡建设部公告

前 言

1 总 则

2 术 语

3 基本规定

4 工 艺

4.1 一般规定

4.2 基本工序

4.3 工艺区划

4.4 设备配置

5 厂址选择及总体规划

5.1 厂址选择

5.2 总体规划

6 建 筑

6.1 一般规定

6.2 防火及安全疏散

7 结 构

7.1 一般规定

7.2 厂房结构设计

7.3 微振动控制标准

7.4 微振动控制设计及测试

7.5 基座平台设计

8 气体动力

8.1 冷、热 源

8.2 大宗气体供应

8.3 特种气体供应

8.4 压缩空气供应

8.5 工艺真空和清扫真空

9 供暖、通风、空气调节与净化

9.1 一般规定

9.2 采暖、通风与废气处理

9.3 空气调节与净化

9.4 防 排 烟

10 给水排水

10.1 一般规定

10.2 一般给水排水

10.3 纯 水

10.4 工艺冷却循环水

10.5 废 水

10.6 消防给水及灭火设施

11 电 气

11.1 供配电与照明

11.2 防雷与接地

11.3 火灾报警及消防联动

11.4 通信及自控

12 防 静 电

12.1 一般规定

12.2 防静电措施

12.3 防静电接地

13 化 学 品

13.1 一般规定

13.2 化学品储存和配送

13.3 管材、阀门

13.4 化学品废液收集回收

14 空间管理

14.1 一般规定

14.2 管线布置

14.3 共用管道支、吊架

附录A 薄膜晶体管液晶显示器生产工艺流程

附录B 微振动标准VC曲线

本规范用词说明

引用标准名录

条文说明

制订说明

1 总 则

2 术 语

3 基本规定

4 工 艺

4.1 一般规定

4.2 基本工序

4.3 工艺区划

4.4 设备配置

5 厂址选择及总体规划

5.1 厂址选择

5.2 总体规划

6 建 筑

6.1 一般规定

6.2 防火及安全疏散

7 结 构

7.1 一般规定

7.2 厂房结构设计

7.4 微振动控制设计及测试

7.5 基座平台设计

8 气体动力

8.1 冷、热 源

8.2 大宗气体供应

8.3 特种气体供应

8.4 压缩空气供应

8.5 工艺真空和清扫真空

9 供暖、通风、空气调节与净化

9.1 一般规定

9.2 采暖、通风与废气处理

9.3 空气调节与净化

9.4 防 排 烟

10 给水排水

10.1 一般规定

10.2 一般给水排水

10.3 纯 水

10.4 工艺冷却循环水

10.5 废 水

10.6 消防给水及灭火设施

11 电 气

11.1 供配电与照明

11.2 防雷与接地

12 防 静 电

12.1 一般规定

12.2 防静电措施

12.3 防静电接地

13 化 学 品

13.1 一般规定

13.2 化学品储存和配送

13.4 化学品废液收集回收

14 空间管理

14.1 一般规定

14.2 管线布置