4.4　设备配置

4.4.1　生产设备和辅助设备的选择应符合现行国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》GB 50472的有关规定，且宜采用自动化程度高、耗能低、排放少的设备。

4.4.2　阵列、彩膜和成盒工序应采用玻璃基板卡匣或其他专用工装搬运产品，批量生产线宜采用全自动物料搬送系统。生产区采取多层布置方式时，跨层生产区之间的产品搬运宜设置自动垂直运输设备。

4.4.3　化学气相沉积和物理气相沉积设备安装区域应配置洁净室专用的检修起重设备。