9.2　采暖、通风与废气处理

9.2.1　严寒及寒冷地区各动力站房及管廊应根据技术要求设置防冻采暖设施，其他房间的采暖设计应符合现行国家标准《工业建筑供暖通风与空气调节设计规范》GB 50019的有关规定。

9.2.2　洁净室（区）内不应采用散热器采暖。

9.2.3　洁净室内产生粉尘和有害气体的工艺设备和辅助设备均应设局部排风装置，排风罩宜为密闭式。

9.2.4　排风系统的设计应符合下列规定：

1　等离子体增强化学气相沉积和干法刻蚀设备的尾气应设就地处理装置。

2　酸、碱、有毒和有机废气应分开设置排风系统，并应设置备用风机和应急电源。

3　阵列、彩膜、成盒厂房一般排风系统应设置备用风机。

4　有冷凝液产生的工艺设备局部排风管宜设置坡度和排液口，冷凝液应排至相应的废水管网中，且风管系统应采取防液体渗漏措施。

5　有毒排风系统的风管应采用内涂聚四氟乙烯的不锈钢板制作。

6　有毒和有机排风应采取防爆措施。

7　酸、碱、有毒和有机排风系统的风管不应穿过防火墙或防火分隔物。若必须穿过时，不得设置熔片式防火阀。

8　酸、碱、有毒和有机排风系统的废气处理设备应设在排风机的负压端。

9　有毒排风系统的风管应在便于观察的位置设置透明观察口，其管内风速不应小于10m/s。

10　工艺设备局部排风系统的室外风管应根据当地气象条件设置防结露保温措施。

11　布置在阵列、彩膜、成盒厂房核心生产区内的排风管道，其管内风速不应大于12m/s。

12　洁净室的排风系统应设置防止室外气流倒灌的措施。

9.2.5　废气处理系统的设计应符合下列规定：

1　等离子体增强化学气相沉积和干法刻蚀设备尾气宜设置两级就地处理装置，对硅烷和二氧化硅的去除率不应小于98%，对其他有害物的处理效率不应小于99%。

2　有毒废气处理系统应针对酸、碱、粉尘综合处理。

3　酸、碱、有机、有毒废气处理系统宜设置备用处理设备。

4　酸、碱、有机、有毒废气不得采用固定床吸附剂方式处理。

5　酸、碱、有毒废气宜采用淋洗方式处理，处理设备的填料层数、厚度和喷淋药液循环量应根据有害物入口浓度、排放标准等因素计算确定。处理设备的加药、补水和排污应采用自动方式；处理设备宜就近设置日用药箱。

6　处理设备的排水应进入废水处理系统。

7　有机废气宜采用沸石转轮吸附、浓缩，并应经焚烧炉氧化方式处理；焚烧后高温气体排入大气前宜设置两级热回收装置。

8　剥离设备有机废气进入沸石转轮处理设备前宜进行预处理。

9　废气处理设备采用的级数应根据有害物的种类、初始浓度、当地的排放标准、处理设备的效率等因素确定。

10　两台及两台以上废气处理设备并联运行时，应在每台设备的入口设置电动或气动密闭风阀。

9.2.6　酸、碱、有机、有毒废气经处理后应经排气筒排入大气，排气筒高度应符合现行国家标准《大气污染物综合排放标准》GB 16297和环境评估报告的有关规定，排气筒出口处风速不宜小于18m/s。

9.2.7　酸、碱、有毒和有机排风系统宜在排气筒内设置在线监测取样传感器。

9.2.8　一般排风系统的排风宜作为洁净室的回风使用。

9.2.9　换鞋间应设置不低于10次/h的全室排风系统，排风口宜设置在下部；换鞋柜宜设置局部排风措施；一次更衣间宜设置不低于5次/h的全室排风系统。