- 纳米CMOS器件及电路的辐射效应
- 刘保军 刘小强 刘忠永
- 837字
- 2021-04-30 21:43:24
1.2 辐射环境
在描述辐射环境或试验用粒子束时,通常会用到两个术语[22]:通量和注量,其中通量表示单位时间内辐射或粒子穿过单位面积的流量,注量表示单位面积上的粒子注入数或能量。
空间辐射主要是宇宙射线的初级和次级产物。宇宙射线包括银河宇宙射线和太阳高能粒子[10,17,23],银河宇宙射线来源于太阳系以外银河的高能强电离粒子[17,23],主要包含 98%的质子和重离子及 2%的正负电子,能量从几十兆电子伏特到 1000亿电子伏特,通量为(2~4) cm-2 s-1 [16]。由于宇宙射线是带电粒子和地磁场作用的产物,因此会在地球周围形成范·艾伦辐射带,空间辐射环境示意图如图 1.2 所示。高能重离子,尤其是最值得注意的铁离子[15,22],其强度较高、能量较大,具有很高的线性能量转移(Linear Energy Transfer,LET)和很强的穿透性,可穿透航天器的所有部分,并在穿行过程中沉积大量能量,损伤能力非常强。
图1.2 空间辐射环境示意图
太阳高能粒子是太阳耀斑发出的高能带电粒子流[17],大部分是质子,还有少量的电子和重离子(从 He 到 U),能量从几十兆电子伏特到几千兆电子伏特。具有一定能量的宇宙射线带电粒子会克服地磁场的屏蔽作用[10,23],射入足够低的地球空间,在入射过程中,与大气中的N、O等的原子核发生核裂变反应,产生大量轻粒子[24],包括中微子、光子、电子、μ 介子、π 介子、质子和中子等,次级粒子生成过程示意图如图1.3所示[16,24]。这些初级和次级粒子形成复杂的空间辐射环境。在所有这些次级粒子中,中子是影响现代电子学地面敏感性的自然辐射中的最重要部分,原因是中子不带电,可深入穿透半导体材料,通过核反应,与靶材料的原子发生相互作用,产生次级电离颗粒,这种机制被称为“间接电离”。
地面辐射环境主要由半导体器件在加工过程中引入的高能粒子形成[19],如放射性杂质发出的α粒子及离子注入、电子束、干法刻蚀等工艺技术引入的高能粒子等。有些封装材料中的少量放射性元素也可能诱发芯片发生辐射效应。除此之外,还有核动力和核爆炸产生的核辐射环境,详细内容可以参考相关的文献[15-16],这里不再赘述。
图1.3 次级粒子生成过程示意图