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微纳传感器及其应用
更新时间：2019-12-20 17:39:03 最新章节：附录C 微电子学常用词及缩略语
书籍简介
《微纳传感器及其应用》约32万字，共分八章。第一章对MEMS进行了概述，简要介绍了MEMS技术的定义、基础理论、制造技术及应用；其后的第二～七章分别以机械微传感器、热微传感器、磁微传感器、光学微传感器与辐射微传感器、化学微传感器与生物微传感器和声波微传感器为主题，介绍了不同种类微传感器的原理及应用；最后第八章介绍了一些传感器的应用实例。各章节后均有习题和参考文献。《微纳传感器及其应用》可作为本科生教材，也可供从事传感器工作的教学、科研和工程技术人员参考。
品牌：北大出版社
上架时间：2010-07-01 00:00:00
出版社：北京大学出版社
本书数字版权由北大出版社提供，并由其授权上海阅文信息技术有限公司制作发行
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