4.4　工艺用气分配与输送

4.4.1　工艺用气分配系统设计应与使用点气体质量、供应方法相匹配。

4.4.2　工艺用气分配系统可采用环状管路系统、枝状管路系统。

4.4.3　工艺用气与非工艺用气宜分系统设置，工艺用气采用非工艺用气系统供气时，应设置检测与控制措施。

4.4.4　分配系统的设计应符合下列规定：

1　应控制工艺用气系统污染与交叉污染的风险；

2　系统应便于泄漏性检测；

3　过滤器设置应便于过滤器的完整性测试；

4　分配系统设计应采取措施防止气体倒流、系统失效带来的风险。

4.4.5　在压力波动较大时，气体减压宜采用二级减压，当使用点需求变化较大时，管路可采用并联减压阀方式进行使用点减压。

4.4.6　工艺用气分配输送系统的管路应设置消毒设施。