一旦BSEC光源研究所在重生者的指引下，在ArF准分子激光器专利技术的基础上，研制成功ArFi准分子激光器和浸没式光刻系统，虽然浸没式光刻系统的专利技术属于BSEC，但根据双方签订的专利技术转让协定，...