第368章 光刻机故障(上)

“我们数百名职工和几十位工程师、技术员,连续排查了好几天,也没找出问题出在什么地方。后来还是在中科院半导体研究所的梁安平教授出手帮忙,才找出了电源杂波问题,重新安装了一台变压器,这才能生产出合格的芯片...

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