1.4 本章小结

激光与光学薄膜的相互作用极为复杂，不仅和光学薄膜的特性有关，也和激光参数以及所使用的环境密切相关。数十年来，各国的研究人员对大气环境下光学薄膜的激光损伤问题进行了大量的实验研究和理论探讨，无论在损伤机理方面还是在提高光学薄膜的抗激光损伤阈值方面都取得了重大进展。相比于大气环境，真空环境下光学薄膜的激光破坏问题具有相当的特殊性，使得影响光学薄膜激光损伤的因素大大增加。为此本书主要的写作目的是：阐述用于真空系统的各类光学薄膜的激光损伤行为，分析各类因素对真空环境下光学薄膜激光损伤的影响；在保证光学性能的基础上，通过有效手段抑制这些因素对损伤阈值降低的影响，提高光学薄膜在真空环境下的抗激光损伤能力和使用寿命。

据此，本章从下面几个方面做了深入阐述：

1．研究了大气环境与真空环境下电子束沉积的几种光学薄膜单脉冲和多脉冲损伤的特性以及环境气氛和气压对真空环境下光学薄膜损伤的影响，为后面讨论真空环境下光学薄膜的损伤机制奠定实验基础。

2．研究了多孔薄膜热导率与膜层堆积密度的变化关系。从热力损伤过程及缺陷诱导损伤过程、激光诱导再生缺陷过程等阐述了真空环境下光学薄膜的本征损伤机制。

3．研究了真空环境下有机污染诱导光学薄膜的损伤特性及机制。首先阐述了真空系统中两种典型的放气污染物——液相甲苯和液相丙酮对真空环境下光学薄膜损伤的影响；其次阐述了液相甲苯和气相甲苯两种有机污染模式对真空环境下光学薄膜损伤的影响；最后讨论了真空环境下长期的放气污染对光学薄膜损伤的影响。

4．研究了热退火及激光预处理等后处理手段对真空环境下光学薄膜损伤的影响，探索提高真空环境下光学薄膜抗激光损伤的方法。