第5章　硅片加工

硅片是制作晶体硅太阳电池的基础材料，也是晶体硅太阳电池最昂贵的部分，硅片切割是太阳电池制造中的关键工艺。该工艺用于处理单晶硅或者多晶硅的固体硅锭。目前切片用的是线锯，线锯首先把硅棒（锭）切成方块，然后切成很薄的硅片（图5.1），包括硅晶体的滚磨开方、晶体切割、硅片研磨、硅片抛光和清洗五步。

图5.1　硅片的切料、切方和切片