1.2 等离子体的分类

等离子体包括等离子体物理、等离子体化学以及等离子体科学或等离子体工程等,是一门交叉学科,在其发展的不同阶段和从不同的研究角度,它的分类方法也不同,如表1-1所列。

表1-1 等离子体的分类方法

注:1atm=101325Pa。

表1-2对上述低温等离子体发生方法的装置原理和结构进行了比较。

表1-2 典型低温等离子体发生装置原理和结构